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帮助指南

[BA202000269]蒸发镀膜系统采购项目备案公示公告(更正)

发布时间：2020-06-15 17:19:30

采购信息

项目编号	BA202000269	项目名称	蒸发镀膜系统采购项目
采购单位	化学学院	经办人	魏浩桐
预算金额	97000.00 人民币	成交金额	97000.00 人民币
成交供应商	沈阳科诚真空技术有限公司	质保期	12 月
联系地址	辽宁省-沈阳市-undefined
付款方式	货到验收合格办理相关手续后100%付款。
供应商联系手机	13898112521	交货时间	成交单签订后89天内交货
交货地址	吉林省-长春市-前进大街2699号超分子结构与材料国家重点实验室
交货方式	乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
包装及运费	由乙方免费提供及承担
验收方式	以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求	验收合格后质保期 1 年，期间若设备出现质量问题，乙方接到甲方通知后 3 小时内响应，72 小时到现场。
采购材料	蒸发镀膜系统自主评审.png

明细清单

采购品目	其他专用仪器仪表	品牌名称	沈阳科诚
名称	蒸发镀膜系统	产地及生产商	中国沈阳-沈阳科诚
规格型号	KC-ZD-06	数量	1
计量单位	套	保修年限	2 年
单价	97000.00 人民币	总价	97000.00 人民币
主要技术参数	一、设备性能：以金属/有机源蒸发为主体，适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大，适合及满足大专院校的教学与科研工作。二、设备基本结构及主要技术指标：镀膜设备由金属/有机源系统，样品台系统，膜厚检测系统组成。 1、金属/有机源系统：1 套 1) 金属蒸发源 2 套：水冷铜电极 2 组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，配气动挡板，1KW 直流电源 1 台（数字显示），电流调整精度 1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀； 2) 有机蒸发源 4 套：4CC 石英舟，温控电源 2 台（温控表显示精度 0.1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板； 3) 隔板：蒸发源隔板分隔，避免交叉污染。 2、样品台系统：1 套 1) 基片旋转：转速 0～30 转／分连续可调； 2) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距 120-170mm 通过触摸屏连续可调； 3) 基片挂架：130130mm 样品托盘，如可放置 1515mm 基片 25 片； 4) 基片挡板：采用电动模式，双开挡板，可单侧开关。 3、膜厚检测系统：1 套 1) 膜厚仪：采用 INFICON，SQC310 四通道石英晶振膜厚监控仪 1 台（模式：顺序镀膜，探头：2 通道；频率：4 至 6 MHz；速率：0.01Å/秒；贮存：100 个过程, 1000 个膜层, 50 个膜系；具备与电源联锁功能，若达到设置厚度，自动切断电源，停止镀膜）； 2) 膜厚探头：进口水冷膜厚探头 3 套

信息咨询

吉林大学招标与备案(采购)管理中心

设备类：林老师: 0431-85167310

工程类：白老师: 0431-85167313

服务及其他货物：李老师: 0431-85167309

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