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帮助指南

[BA202100017]飞秒激光溅射靶及气体差分真空装置备案终止公告

发布时间：2021-01-12 09:16:19

终止信息

终止理由：

技术指标更改

采购信息

项目编号	BA202100017	项目名称	飞秒激光溅射靶及气体差分真空装置
经办人单位	原子与分子物理研究所	经办人	齐洪霞
预算金额	263000.00 人民币	成交金额	263000.00 人民币
成交供应商	淮阴区空天科技发展中心	质保期	12 月
联系地址	江苏省-淮安市-淮阴区长江路街道徐梅村部102号	采购单位	吉林大学原子与分子物理研究所
付款方式	成交单签订后预付成交单总金额的30%，货到验收合格办理相关手续后付余款。(适用于加工定制类)
供应商联系手机	13671275625	交货时间	成交单签订后120天内交货
交货地址	吉林省-长春市-前进大街2699号吉林大学前卫南区唐敖庆楼C区118室
交货方式	乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
包装及运费	由乙方免费提供及承担
验收方式	以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求	验收合格后，质保一年。质保期内，设备若出现问题，厂商24小时内响应，72小时内配合解决问题。
采购材料	自主-差分.png

明细清单

采购品目	物理光学仪器	品牌名称	订制
名称	飞秒激光溅射靶及气体差分真空装置	产地及生产商	中国-淮阴区空天科技发展中心
规格型号	KTKJ200-CF300	数量	1
计量单位	套	保修年限	1 年
单价	263000.00 人民币	总价	263000.00 人民币
主要技术参数	1. 真空系统要求使用高真空SUS316L不锈钢材料内外电解抛光； 2. 整体烘烤后真空不低于1×10-5Pa； 3. 整个系统漏率不高于1×10-10Torr•L•s-1，压升率小于0.8Pa/h； 4. 要求整套系统在真空无油条件下运行，真空分子泵使用中科科仪脂润滑泵，机械泵使用国外进口干泵； 5. 溅射靶溅出物较多，要求分子泵抽速1300L/s； 6. 气体源实现三维可调,XY=±10mm，Z=20mm。调节精度≤10μm； 7. 束源装置适合安装General系列及kHZ脉冲阀； 8. 装置配备一台电离规及电阻规真空测量系统，测量极限真空度1×10-7Pa。 9. 气体差分装置安装skimmer一个，直径≤1mm。 10.装置配备CF100和CF75观察窗口各一个。 11.装置配备CF35接线柱窗口两个。

技术支持热线：0431-80531009 工作日：8:00-16:30

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