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帮助指南

[BA202001314]全自动磁控溅射镀膜仪备案成交公告

发布时间：2021-03-17 13:39:45

采购信息

项目编号	BA202001314	项目名称	全自动磁控溅射镀膜仪
经办人单位	超硬材料国家重点实验室	经办人	王启亮
预算金额	98000.00 人民币	成交金额	98000.00 人民币
成交供应商	沈阳鹏程真空技术有限责任公司	质保期	12 月
联系地址	辽宁省-沈阳市-沈河区凌云街35号	采购单位	吉林大学超硬材料国家重点实验室
付款方式	货到验收合格办理相关手续后100%付款。
供应商联系手机	13898863716	交货时间	成交单签订后10天内交货
交货地址	广东省-珠海市-金湾区三灶镇草堂湾吉林大学珠海学院产学研示范楼131室
交货方式	乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
包装及运费	由乙方免费提供及承担
验收方式	以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求	1. 质保期：货到验收合格之日起12个月 2. 售后服务提供商：沈阳鹏程真空技术有限责任公司 3. 售后服务机构情况：规模（技术人员人数）：3人联系人：董顺联系电话：13898863716 服务机构地点：沈阳市沈河区凌云街35号 4. 服务响应时间与服务内容：电话响应时间：1小时人员到达现场时间：24小时排除故障时间：48小时 5. 培训方案：培训次数：不限次数培训人员数量：不限人数培训地点：吉林大学珠海校区费用：免费 6. 本产品专用试剂的优惠供给计划：无 7. 其它服务承诺：定期巡检，每年不少于1次
采购材料	自主采购评审报告-1.docx 配置_清单及售后服务.docx

明细清单

采购品目	其他真空获得及应设备	品牌名称	鹏程
名称	全自动磁控溅射镀膜仪	产地及生产商	中国-沈阳鹏程真空技术有限责任公司
规格型号	VCT300	数量	1
计量单位	台	保修年限	1 年
单价	98000.00 人民币	总价	98000.00 人民币
主要技术参数	设备主要配置： 1. 溅射真空室： 1.1 真空室为筒形上开盖结构，尺寸为直径280mmx200mm 1.2 溅射室极限真空度：≤9.5x10-5 Pa (经烘烤除气后)； 1.3 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 2. 磁控溅射系统 2.1 靶材尺寸：Ф50mm； 2.2 各靶可独立/顺次/共同工作； 2.3 500直流电源2台（数字式通讯恒流电源）； 2.4 300w全自动调谐射频电源1台(数字式通讯全自动匹配) 2.5 磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：70mm。 3. 旋转基片台 3.1 基片尺寸和数量：4英寸样品；样品可定位自传。可实现多靶共溅射。 3.2 基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600°C，可控可调； 3.3 基片自转由调速电机驱动，0—30转/分连续可调，转动速度 4.加热装置加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，样品加热温度：室温～400°C，连续可调。 5. 抽气机组及阀门、管道 5.1、复合分子泵及变频控制电源：1台（FF100/180 180l/s 北京）； 5.2、机械泵：VRD-24, 4L/S 1台（浙江飞越）； 6. 水冷循环机: 0.3P

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