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发布时间：2025-08-28 21:00:29

项目编号	BA202500812	项目名称	高真空磁控离子溅射仪采购项目
经办人单位	生物与农业工程学院、仿生科学与工程学院	经办人	宋洪烈
预算金额	299800.00 人民币	成交金额	299800.00 人民币
成交供应商	上海众濒科技有限公司	质保期	12 月
发票要求	乙方所提供的产品用途为“科技开发、科学研究、教学设备”时，需向吉林大学开具增值税专用发票。
联系地址	上海市-市辖区-上海市奉贤区岚丰路1150号8幢1165室	采购单位	吉林大学生物与农业工程学院
发票要求	乙方所提供的产品用途为“科技开发、科学研究、教学设备”时，需向吉林大学开具增值税专用发票。
付款方式	货到验收合格办理相关手续后100%付款。
供应商联系手机	13108990476	交货时间	成交单签订后20天内交货
交货地址	吉林省-长春市-人民大街5988号吉林大学南岭校区仿生楼222
交货方式	乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
包装及运费	由乙方免费提供及承担
验收方式	以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求	卖方提供12个月的质保，维护，并且提供专业的技术支持。交货方式：卖方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。包装及运费：由卖方免费提供及承担。
采购材料	真空镀膜-采购评测.pdf 真空镀膜-自主备案-附件1.docx

采购品目	其他金属加工设备	品牌名称	上海众濒
名称	高真空磁控离子溅射仪	产地及生产商	中国-上海众濒科技有限公司
规格型号	CIS400TD	数量	1
计量单位	套	保修年限	1 年
单价	299800.00 人民币	总价	299800.00 人民币
主要技术参数	1.腔体尺寸及靶材功能参数： 1.1占地尺寸不超过500（L）×500（W）（单位cm）；真空室采用高透光率的硼硅玻璃，内径不小于180mm，高度不低于125mm；具备可旋转样品台，转速可调，最高转速不小于20转/分；具备预溅射挡板，确保镀膜纯度，减少污染。 1.2溅射靶头采用平面磁控靶设计，数量不少于2个，既可以镀金属和单质膜层，也可以镀无机非金属膜层；内置不少于20种靶材溅射参数，包括金、铂、铬、钨、钛、铝、镍等常用靶材和ITO、AZO等非金属氧化物靶材，可一键调用； 1.4镀金属膜层的工作电流最大不小于200mA，最小不大于5mA，步进量为1mA；镀无机非金属膜层的最大工作功率不小于150W； 1.5具备加热模块，可实现镀膜时衬底加热，温度最高200℃。