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发布时间：2024-12-16 07:56:46

项目编号	BA202401382	项目名称	基于热光效应的SiN硅光芯片流片加工
经办人单位	电子科学与工程学院	经办人	胡小龙
预算金额	50000.00 人民币	成交金额	50000.00 人民币
成交供应商	北京燕东微电子科技有限公司
联系地址	北京市-市辖区-北京市	采购单位	吉林大学电子科学与工程学院
付款方式	服务完毕验收合格后100%付款。
供应商联系手机	15810897942	服务时间	2024年11月09日至 2025年09月30日
服务地址	吉林省-长春市-吉林大学前卫南区
验收方式	以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求	产品使用8吋0.18um工艺，SiN波导高度大于等于300nm
采购材料	8d6294d86e4f060288ca714549d31c8.jpg 微信图片_20241008153329.jpg

采购品目	金属制品的制造业服务和金属加工服务	名称	基于热光效应的SiN硅光芯片流片加工
单位	项	数量	1
单价	¥50,000.00	总价	¥50,000.00
范围/服务内容及要求	在“基于热光效应的 SiN 硅光量产平台”上，开展流片业务。工艺方案：使用 8 吋线 0.18 um 工艺，最小 Line/Space = 0.18/0.18 um。共 6 张光刻版。