项目编号 | BA202300351 | 项目名称 | MEMS微悬臂梁样件委托加工 |
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经办人单位 | 机械与航空航天工程学院 | 经办人 | 王东方 |
预算金额 | 146305.00 人民币 | 成交金额 | 146302.00 人民币 |
成交供应商 | 苏州名芯科技有限公司 | 质保期 | 12 月 |
联系地址 | 江苏省-苏州市-江苏省苏州市 | 采购单位 | 吉林大学机械与航空航天工程学院 |
付款方式 | 成交单签订后预付成交单总金额的30%,服务完毕验收合格后付余款。(适用于加工定制服务类) | ||
供应商联系手机 | 18551173673 | 服务时间 | 2023年05月10日 至 2023年06月20日 |
服务地址 | 吉林省-长春市-南关区人民大街5988号吉林大学南岭校区 | ||
验收方式 | 以成交单为准,参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
售后服务要求 | 验收合格后质保12个月 | ||
采购材料 | 微信图片_20230509121621.jpg |
采购品目 | 其他服务 | 名称 | MEMS微悬臂梁样件 |
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单位 | 项 | 数量 | 200 |
单价 | ¥731.51 | 总价 | ¥146,302.00 |
范围/服务内容及要求 | 单晶硅:4英寸(001) AlN厚度1 μm,XRD 〈002〉FWHM =1.5°( 1000nm AlN on Si ),1000nm AlN Stress Mean:-36MPa,Range -120~80MPa 电极材料Pt 厚度:200nm SiO2厚度:0.3μm Si3O4厚度:0.1μm 引线材料:Au 结构尺寸规格:L 2000-1600μm,W 1400-2000μm, H 30μm 27种样件,每一种不少于8个 |