| 项目名称 | 多功能磁控与离子束溅射沉积系统 | 项目编号 | JJ201900180 |
| 开始日期 | 2019-12-05 14:20:46 | 截止时间 | 2019-12-10 14:20:46 |
| 经办人单位 | 物理学院 | 预算总金额(元) | 299000.00 |
| 产品类型 | 国产 | 报价币种 | 人民币 |
| 联系人 | ******** | 电话 | ******** |
| 是否提供上传厂家授权代理文件 | 否 | ||
| 采购类别 | 设备类 | 采购单位 | 吉林大学物理学院 |
| 交货时间 | 成交单签订后90天内交货 | 送货地址 | 吉林 长春市 朝阳区 长春市前进大街2699号吉林大学物理楼163房间 |
| 包装及运费 | 由乙方免费提供及承担。 | ||
| 交货方式 | 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 | ||
| 验收方式 | 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
| 付款方式 | 成交单签订后预付成交单总金额的30%，货到验收合格办理相关手续后付余款。(适用于加工定制类) | ||
| 供应商资质要求 |
1、符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
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| 售后服务 |
供应商中标之后不得毁约，否者赔偿申购单位预算等值金额。 |
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| 相关附件 | 暂无 | ||
| 序号 | 品目 | 商品名称 | 品牌 | 型号 | 产地及生产商 | 数量 | 计量单位 | 预算单价(元) | |
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| 1 | 真空应用设备 | 多功能磁控与离子束溅射沉积系统 | 搏锐源 | BRYCK-400 | 产地：中国-生产厂商：沈阳搏锐源真空科技有限公司 | 1 | 套 | 299000.00 | |
| 技术参数 | 技术要求 1.极限真空度:6X10^-7Pa. 30分钟内抽速7x10^-5Pa。 2.真空腔体直径约700mmX700mm.前开门式。 3.四工位转靶台，可换位。可两靶位同时溅射。工件架可以公转自转0-20r/min.基片1英寸可放置100-200片。 4.四个6英寸磁控圆形靶，一台直径100mm溅射离子源.（北京中科） 5.两台 3000W自动匹配射频电源，（要求国际知名品牌），两台3000W恒流直流电源（要求国际知名品牌） 6.泵组250口径分子泵，配相应离子泵，配15L无油干泵。 7.气路 四路质量流量控制器（国际知名品牌） 8.全自动式抽放气。 9.以上为硬性指标，需要满足。 主要功能及应用： 1.可以单独或同时进行磁控溅射和离子束溅射镀膜； 2.可用于制备Å量级的Al、Fe、Ti、Cu、Ni等金属膜，纳米量级的SiO2、V2O5、HfO2、NiO、WO3、TiO2等半导体膜； 3.具有确认靶位功能、溅射镀膜时间控制、回转控制功能和靶的遮挡功能； 4.可以在保持真空的状态下，依次进行4种不同材料的镀膜，薄膜致密，均匀性好。 | ||||||||
吉林大学招标与采购管理中心
2019-11-28 11:01:52